TESCOM™ Series 12 Безпружинный и безрезьбовой Regulators
The Series 12 представляет собой промышленный газ сверхвысокой чистоты (IGS) / видеомагнитофон с понижающим давлением. Серия 12 обеспечивает отделку 5 Ra или 10 Ra микро-дюймов. Он принимает мембрану сильфона и имеет внутреннюю конструкцию без пружин и резьбы. Входное давление составляет 150 psig / 10,3 бар, а выходное давление составляет 250 мм Hg - 15, 30, 60, 100 psig / 250 мм Hg - 1,0, 2,1, 4,1, 6,9 бар. Скорость потока может достигать 120 SLPM. Это очень подходит для инструментов OEM, газовых баллонов и газовых баллонов низкого давления.
Specifications
Set Pressure
Maximum давление на входе: 150 psig / 10,3 bar
Maximum давление на выходе: 250 мм рт.ст. - 15 psig / 250 мм рт.ст. - 1,0 бар; 0 - 30, 0 - 60, 0 - 100 psig / 0 - 2,1, 0 - 4,1, 0 - 6,9 bar
Material
Valve корпус: нержавеющая steel
Diaphragm 316L VAR: Hastelloy®
Седло клапана: PCTFE
Valve шток: Hastelloy®
Другие составляющие материалы: 316L VAR нержавеющая steel
Operating Температура: от 40F до 140F / MFC 40C до 60C
Connectors
Welded: 1 / 4 ″ VCR® или трубчатое крепление: 1,125 ″ или 1,50 ″ footprint
Flow: Cv = 0,041177117120001Высокий расход: Cv = 0. 08
Weight
VCR, IGS: 0,60 фунт / кг0,3 27120001A Тип: 1,08 фунт / 0,5 kg
Features
Ideal для высокочувствительного к давлению газа - массовый контро и отличная скорость performance
Flow: 2 SCFM до 120 SLPM
Provides отличная герметичность и повторяемость в микро - components
Metal - к - металлическое уплотнение принято между диафрагмой и корпусом клапана, обеспечивая первый класс tightness
The внутренней поверхности 10 Ra или 5 Ra микро - inches
Complies с модульным интерфейсом SEMI F19 и SEMI specifications