TESCOM™ Series 12 Springless and Threadless Regulators
The Series 12 es un regulador reductor de presión de gas industrial (IGS) / VCR® de ultra alta pureza de tipo micro. La serie 12 proporciona un acabado de 5 Ra o 10 Ra micro-pulgadas. Adopta un diafragma de fuelle y tiene un diseño interno sin resortes ni roscas. La presión de entrada es de 150 psig / 10,3 bar y la presión de salida es de 250 mm Hg - 15, 30, 60, 100 psig / 250 mm Hg - 1,0, 2,1, 4,1, 6,9 bar. El caudal puede alcanzar 120 SLPM. Es muy adecuado para herramientas OEM, cilindros de gas y cilindros de gas de baja presión.
Specifications
Set Pressure
Maximum presión de entrada: 150 psig / 10,3 bar
Maximum presión de salida: 250 mm Hg - 15 psig / 250 mm Hg - 1,0 bar; 0 - 30, 0 - 60, 0 - 100 psig / 0 - 2,1, 0 - 4,1, 0 - 6,9 bar
Material
Valve cuerpo: 316L VAR inoxidable steel
Diaphragm: Hastelloy®
Asiento de válvula: PCTFE
Valve vástago: Hastelloy®
Otros materiales componentes: 316L VAR inoxidable Temperatura: - 40F a 140F / - 40C a 60C
Connectors
Welded: 1 / 4 "VCR® o fittings
Surface montaje en tubo: 1,125" o 1,50 "footprint
Flow: Cv = 0,04
Alto flujo: Cv = 0. 08
Weight
VCR, IGS: 0,60 lb / 0,3 kg
Tipo A: 1,08 lb / kg
Features
Ideal 0,5 para OEM de gama alta sensibilidad a Y excelente performance
Flow tasa: 2 SCFM a 120 SLPM
Provides excelente estanqueidad y repetibilidad en micro - components
Metal - a - metal sellado se adopta entre el diafragma y el cuerpo de la válvula, proporcionando primera clase tightness
The acabado de la superficie interna es 10 Ra o 5 Ra micro - inches
Complies con SEMI F19 y SEMI interfaz modular specifications